NewWay气浮套管促进半导体应用的光谱学

脉冲探针显微镜是一种用于检查材料特性的成像形式。该技术用于医学和艺术修复等多种领域,但在半导体开发中尤为突出。当宾夕法尼亚州立大学博士生 Disha Talreja 需要为脉冲探针实验创建一个微米级精度的移动平台时,她选择了 New Way® Air Bushings来完成这项工作。

激光器、气浮轴承和打造更好的半导体

Keystone 塔式系统的平衡法

脉冲探测实验通过向物体发射两个激光脉冲来发挥作用。第一个是激发材料的更高振幅的“泵”脉冲。第二个是较低幅度的“探测”脉冲,该脉冲与激发材料相互作用的记录结果可以收集数据。为了更全面地了解给定材料随时间的特性,可以延长泵脉冲和探针脉冲之间的间隔。这是通过使用安装在称为延迟级的移动平台上的镜子增加探测脉冲行进的距离来完成的。

该系统对半导体工业非常有用,因为它在时域热反射中的应用,通过该系统可以确定非常薄材料的热特性和导电特性。因此,根据 Talreja 在她的论文中的说法,有效和精确的测试设备对于为“固态激光器和集成电路中的芯片等高发热设备”开发更好的材料至关重要。

然而,只有使用微米级精度的延迟级才能准确测量材料中的热传输。这就是气浮轴承的用武之地。

Frictionless Motion® 提供高质量数据

为了实现对探测脉冲间隔的充分控制,延迟级需要实现超分辨线性运动。为了确保这种保真度,Talreja 选择了 Porous Media™ 气浮轴承系统。她给出了这一选择的理由,“该系统优于传统的接触滚子轴承,以消除与后者相关的各种缺点,例如高摩擦、磨损和油润滑处理。”

纳米厚的硬气垫不仅不需要润滑,而且实际上可以保护系统免受污染,为扩展实验提供更耐用的设置。

该系统由一个浮动在四个气浮套管上的安装板组成,通过枕块固定到板上。轴承安装在两个轴上,由端部安装固定。尽管 Talreja 的设置是由“来自不同公司的不同产品”构成的,但 New Way 提供了全面的安装组件系列,包括标准尺寸的支架,并设计为与 New Way 气浮衬套产品系列兼容。

根据 Talreja 的说法,与传统相比,这种使用气浮轴承的配置允许“平台以更高的速度和加速度、更好的分辨率和可重复性更直线运动,此外平台的操作更平稳、更清洁、更耐用。” 这一赞誉充分体现了气浮轴承的强大功能,它不仅提供了精度方面的优势,还提供了坚固性和抗碰撞性。

加入气浮轴承运动!

New Way 的多孔介质技术™ 为半导体测试领域提供了前所未有的机会,无论是在学术材料科学研究还是在工业实验室。与 Disha Talreja 一起发现 New Way 气浮轴承开发未来技术的强大能力。

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  • 迪莎·塔雷哈

    宾夕法尼亚州立大学博士生

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