解决方案

通过将正压和施加的真空相结合,气浮轴承可以快速、精确地处理 FPD。

  • 加工
  • 输送
  • 检查

New Way 提供多种气浮轴承产品来漂浮玻璃,确保没有接触。通过我们的Porous Media Technology™提供的坚硬且均匀的气浮分布对于玻璃在生产过程中的稳定性至关重要。这种独特的设计特征可以在高速下实现纳米级精度的非接触式运动。即使在气浮供应中断的情况下,柔软的轴承面也会缓慢扩散空气,从而最大限度地减少玻璃划伤和损坏的担忧。

Select New Way 产品还带有真空控制,可将玻璃的垂直高度控制额外控制在 ±5 微米以内,消除了动态加工和检查所需的严格控制的振动,而无需将玻璃稳定在真空吸盘上。

New Way 气浮轴承天生适用于 FPD 洁净室环境。测试表明,New Way 产品也很容易达到 ISO 3 级清洁度, 气浮中的颗粒浓缩物限值小于 1,000 x 0.1μm 颗粒/m3。由于多孔介质充当微粒的亚微米过滤器,因此也可以在洁净室中使用该外壳,从而消除污染和除气问题。

使用 New Way 气浮轴承的 FPD 制造商在不牺牲精度和质量的情况下增加了产量。

计算机断层扫描成像的应用

气浮条 提供了一种非接触式方法来输送适合在洁净室环境中使用的晶圆。New Way 有几种不同类型的 Air Bars,具有不同的控制水平。

我们最基本的模型使用正气压来浮动玻璃进行非接触式运输。每个系列都增加了一个或多个真空孔槽,以增加稳定性。最高水平的控制来自我们的Precision Zone Air Bars ,其真空孔分布可确保整个气浮条的真空压力和气隙相同,使其成为晶圆探测和检查的理想选择。

随着玻璃变得更薄、更灵活和更坚固,New Way Air Turns 提供了一种非接触式方法来在弯曲处浮法玻璃。Air Turns 可以通过调整气压来根据材料厚度控制浮空高度和张力,从而适应各种材料。

New Way 扁平圆形轴承可用于为玻璃创建一个框架,允许在各个方向对玻璃进行非接触式操作。New Way 气浮衬套直线运动导向系统 可用于夹持负责夹住玻璃边缘的夹具,同时玻璃以直线方式移动。

气浮轴承的好处

气浮轴承为平板显示器的生产提供了许多理想的优势:

  • 没有联系
  • 高精度浮空高度
  • 符合洁净室标准
  • 高速
  • 高刚度
  • 零磨损
  • 零振动
  • 更直的运动
任何问题?

如果您对我们的多孔介质气浮轴承如何增强您的计算机断层扫描成像应用有任何疑问,请立即联系我们。立即告诉我们有关 您的申请的更多信息,并获得免费咨询!

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